Hoogzuivere koperen busbar-sputterdoelen (4N-6N)
Video
Proces- en kwaliteitsborgingsverklaring voor sputterdoelen van zeer zuiver koperen stroomrails
Onze koperen stroomrail-targets zijn specifiek ontwikkeld voor grootschalige, hoogvolume fysische dampafzetting (PVD) waarbij een uniforme coating over lange lengtes cruciaal is.
Belangrijkste proceskenmerken
De productie maakt gebruik van geavanceerde metallurgische en bewerkingstechnieken om consistente prestaties te garanderen:
●Uitgangsmateriaal: Hoogwaardige elektrolytische koperen kathodes met een geverifieerde ultrahoge zuiverheid dienen als basis.
●Vacuümraffinage: Meerdere vacuümsmeltstappen verwijderen gasvormige en metaalachtige onzuiverheden om 4N-6N-niveaus te bereiken.
●Continu gieten: Gecontroleerde hete extrusie of continu gieten produceert lange, dichte staven met een homogene structuur.
●Warm bewerken: Smeden en walsen verfijnen de korrelgrootte en bereiken een dichtheid die bijna gelijk is aan de theoretische dichtheid.
●Nauwkeurig zagen en bewerken: CNC-zagen en -frezen zorgen voor nauwkeurige rechthoekige afmetingen met parallelle vlakken.
●Oppervlaktevoorbereiding: Meertraps slijpen en polijsten zorgt voor schone, defectvrije sputteroppervlakken.
●Verlijmingsopties: Lage-temperatuur indium- of elastomeerverlijming op roestvrijstalen of molybdeen achterplaten mogelijk.
●Cleanroomverpakking: De uiteindelijke ultrasone reiniging en dubbele vacuümverpakking garanderen een besmettingsvrije levering.
Kwaliteitscontrolesysteem
● Volledige traceerbaarheid van kathodebron tot afgewerkt busbar-doel
● Bij elke eenheid worden volledige materiaalcertificaten en testrapporten meegeleverd.
● Archiefmonsters worden ≥3 jaar bewaard voor onafhankelijke verificatie (SGS, BV, enz.)
● 100% inspectie van essentiële parameters:
• Zuiverheidsverificatie (GDMS/ICP-analyse; zuurstofgehalte doorgaans <5 ppm)
• Dichtheidstest (≥99,5% van de theoretische waarde)
• Korrelstructuuranalyse (metallografie)
• Maatnauwkeurigheid (CMM; paralleliteit ≤0,1 mm typisch)
• Oppervlaktekwaliteit en ruwheid (profilometer + cleanroominspectie)
● De interne specificaties overtreffen de ASTM F68-normen. Typische kenmerken: Thermische geleidbaarheid >395 W/m·K, consistent boogvrij sputtergedrag, hoge afzettingssnelheden in magnetronsystemen.











